日本三協 SANKYO IMS5600-DS 白光干涉仪

2025-06-20 16:19:59 admin

日本三協 SANKYO IMS5600-DS 白光干涉仪

白光干涉仪 <br>IMS5600-DS [可在真空环境中使用]

产品特点

纳米级精度绝对距离测量：
30 皮米高分辨率传感器
和电缆，适用于真空环境

规范

范围
0~2.1mm （距离）， 0.010~1.3mm （厚度， BK7）

输出
模拟：4-20 mA，0-10 V 数字： RS422/EtherCAT/以太网

分辨率
下午 <30

精度
< ±10 纳米

反应
100 赫兹~6 赫兹

温度
5~70 °C

测量体
玻璃、反射表面、漫反射表面等