日本三協 SANKYO IMS5400-DS 白光干涉仪

2025-06-20 16:17:52 admin

日本三協 SANKYO IMS5400-DS 白光干涉仪

白光干涉仪 <br>IMS5400-DS [非接触式、高精度]

产品特点

纳米级精度绝对距离测量、
模拟和数字输出以及
带被动冷却功能的坚固控制器

规范

范围
0~2.1mm （距离）， 0.010~1.3mm （厚度， BK7）

输出
模拟：4-20 mA，0-10 V<>br 数字： RS422/EtherCAT/以太网

分辨率
<1 纳米

精度
< ±50 纳米

反应
100 赫兹~6 赫兹

温度
5~70 °C

测量体
玻璃、反射表面、漫反射表面等