日本 仓敷化工 KURASHIKI EST-L5HR-H EST-L6HF-L 主动式隔振单元
日本 仓敷化工 KURASHIKI EST-L5HR-H EST-L6HF-L 主动式隔振单元规格和标准EST-L5HR-LEST-L5HR-MEST-L5HR-HEST-L6HF-LEST-L6HF-MEST-L6HF-H驱动器直线电机控制方法FB/FF 6 自由度控制调平系统自动调平控制器 *1数字控制器有效载荷重量（kg）*2190~320240~350290~400340~570500~6
日本 仓敷化工 KURASHIKI EST-L5HR-H EST-L6HF-L 主动式隔振单元
规格和标准
*1：控制器和电源单元是分开的。EST-L5HR-L EST-L5HR-M EST-L5HR-H EST-L6HF-L EST-L6HF-M EST-L6HF-H 驱动器 直线电机 控制方法 FB/FF 6 自由度控制 调平系统 自动调平 控制器 *1 数字控制器 有效载荷重量（kg）*2 190~320 240~350 290~400 340~570 500~660 630~750 隔离器尺寸（毫米） 220×220 240×240 隔离器安装尺寸 （mm） 200×200 220×220 运行高度（毫米） 176 185 隔离器质量（kg） 20 29
*2：在供气压力为0.6MPa时的最大有效载荷重量。 它是每个隔离器。
