日本 SIMCO 司美高 5635 离子发生器 静电消除器
日本 SIMCO 司美高 5635 离子发生器 静电消除器产品信息5635 型 Aerobar MP 离子发生器是一种超低颗粒产品，专为在需要 100 nm 或更小的微粒控制的区域（例如在先进的半导体制造工艺中）消除静电而开发。长处■单晶硅电极，在世界范围内拥有无与伦比的应用记录，由于电极材料具有超低颗粒特性，避免了金属污染的风险■通过独特的MP（脉冲调制）方法将离子有效地传输到目标的高静电消除性
日本 SIMCO 司美高 5635 离子发生器 静电消除器
产品信息
5635 型 Aerobar MP 离子发生器是一种超低颗粒产品，专为在需要 100 nm 或更小的微粒控制的区域（例如在先进的半导体制造工艺中）消除静电而开发。
长处
■单晶硅电极，在世界范围内拥有无与伦比的应用记录，由于电极材料具有超低颗粒特性，避免了
金属污染的风险 ■ 通过独特的MP（脉冲调制）方法将离子有效地传输到目标的高静电消除性能
■即使在100mm的距离内也可以使用的小电位摆动特性和对棒长度的偏压很小的离子平衡
■ 智能控制电路始终自动管理离子发生状态和离子平衡 ■
可互换电极，可在1/4圈时拆卸，有助于减少
■ 电位摆幅非常小的 MP 方式简化了设置，小电位摆幅也有助于
将离子长期平衡保持在控制标准内。■ 设置
与 EFEM 相匹配的棒材长度，用于半导体前端处理 ■内置 24V 直流驱动控制器的紧凑设计
■ 全球可用的高级支持网络
规范
型号 5635 AeroBar MP
| 输入电压 | 24V 直流 +/-10% |
|---|---|
| 输出电压 | 最高约 13.5 kV p-p 可调 |
| 安装距离 | 100mm~1000mm（无空气吹扫） |
| 离子发生法 | 电晕放电方式 MP（脉冲调制）方式 调制频率 1 ~ 33 Hz |
| 离子平衡 | 自动平衡方式 <+/-10V） 直接在杆下方 根据位置不同 <+/-10V （600 mm 距离） |
| 电极 | 单晶硅电极可互换 |
| 吹扫气体 | 清洁干燥空气或 N2 |
| 最大吹扫压力 | 310千帕 |
| 臭氧量 | <0.05 ppm（24 小时累积值） |
| 信号输出 | 警报 IO 集电极开路输出 |
| 大小 | 高 78 毫米 x 深 34 毫米 x 长 450 /600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750 /1900/2050/2200/2350 毫米 |
| 装甲 | ABS 塑料 |