日本 三協 SANKYO TFG6220 电容式位移传感器
2025-06-20 16:08:59
admin
日本 三協 SANKYO TFG6220 电容式位移传感器
产品特点
通过使用内置真空装置吸入要测量的物体，将其平滑并测量无褶皱的最佳位置，可实现 10 nm 的分辨率。
规范
电源电压
12~35VDC （通常为 24VDC）
范围
<1 毫米
分辨率
10nm（100Hz 时）
精度
0.2μm *取决于被测物体。
温度
18~25°C
测量体
导电膜（电导率 >10*6 S/m）
